+
  • 臥式爐logo.png

臥式爐


所屬分類:

氧化/擴(kuò)散/退火


概要:

該設(shè)備是半導(dǎo)體生產(chǎn)線前工序的重要工藝設(shè)備之一,用于大規(guī)模集成電路、 分立器件、電力電子、光電器件等行業(yè)的氧化、擴(kuò)散、退火、合金等工藝。 氧化工藝:主要用于初始氧化層、柵氧化層、場氧化層等多種氧化介質(zhì)層的制備工藝。


關(guān)鍵詞:

臥式爐



臥式爐


上一個(gè)

下一個(gè)

上一個(gè)

立式爐

下一個(gè)

在線咨詢

提交留言