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      • 氧化擴散設備.jpg

      氧化/擴散設備


      所屬分類:

      第一代半導體工藝設備


      概要:

      ? 該設備是半導體生產線前工序的重要工藝設備之一,用于大規模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件等行業的擴散、氧化、退火、合金和燒結等工藝 ? 設計了硅片生產的多種工藝性能需要,具有生長效率高、產品性能優越的特點 ? 具有污染低、占地面積小、溫度均勻、可裝載晶圓尺寸大、工藝穩定性高等優點 ? 主要用于初始氧化層、屏蔽氧化層、襯墊氧化層、犧牲氧化層、場氧化層等多種氧化介質層的制備工藝


      關鍵詞:

      氧化/擴散



      氧化/擴散設備


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      真空退火設備

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